A diffúzió és az ion-beültetés közötti különbség | Ion Implantáció vs Diffúzió
Diffúzió és ion implantáció < A diffúzió és az ionbeültetés közötti különbség akkor érthető meg, ha megértette, mi a diffúzió és az ion implantáció. Mindenekelőtt meg kell említeni, hogy a diffúzió és az ion implantáció a félvezetőkhöz kapcsolódó két kifejezés. Ezek a technikák, amelyek a dopant atomokat a félvezetőkbe vezetik. Ez a cikk a két folyamatról, azok főbb különbségeiről, előnyeiről és hátrányairól szól.
Mi a diffúzió?
A diffúzió az egyik legfontosabb technika, amellyel a szennyeződések félvezetőkbe kerülnek. Ez a módszer figyelembe veszi a dópoló mozgását atomi méretarányban, és alapvetően az eljárás a koncentráció gradiens következtében történik. A diffúziós folyamatot "diffúziós kemencék
" elnevezésű rendszerekben hajtják végre. Ez meglehetősen drága és nagyon pontos. a három fő adalékanyag forrás: gáz, folyadék és szilárd anyagok és a
gáznemű források a legszélesebb körben alkalmazott módszer (megbízható és kényelmes források: BF < 3 , PH 3 , AsH 3 ). Ebben a folyamatban a forrásgáz oxigénnel reagál a hab felületén, ezáltal adalékszármazékot eredményez. Ezután szilíciumba diffundál, egyenletes doppinganyag-koncentrációt képezve a felületen. Folyékony források kétféle formában állnak rendelkezésre: buborékok és a dópón való centrifugálás. A buborékok a folyadék gőzbe történő átalakítását oxigénnel reagálják, majd adalékanyagot képeznek a tárcsa felületén. A dópókon történő centrifugálás szárazra formázott SiO 2 rétegekből áll. Szilárd források két formát tartalmaznak: tabletta vagy szemcsés alak, lemez vagy ostya formájában. A bór-nitrid (BN) lemezek a leggyakrabban használt szilárd forrás, amely 750-100 0 C-on oxidálható. -2 -> Egy anyag egyszerű diffúziója (kék) egy féligáteresztő membránon (rózsaszín) lévő koncentrációs gradiens miatt. Mi az Ion implantáció? Az ionbeültetés egy másik eljárás a szennyeződések (adalékanyagok) bevezetésére a félvezetőkhöz. Ez egy alacsony hőmérsékletű technika. Ezt a dúsítószerek bevezetésére a magas hőmérsékletű diffúzió alternatívájaként tekintik. Ebben a folyamatban a nagyenergiájú ionok sugara a cél félvezetőre irányul. Az ionok ütköztetése a rácsos atomokkal a kristályszerkezet torzulásához vezet. A következő lépés az annealing, amelyet követi a torzítás problémájának orvoslása.
Az ionbeültetési technika néhány előnye magában foglalja a mélységi profil és adagolás pontos szabályozását, amely kevésbé érzékeny a felületi tisztítási eljárásokra, és széles választékban van a maszkanyagok, mint a fotoreziszt, a poli-Si, az oxidok, és a fém.
Mi a különbség a diffúzió és az ion-beültetés között?
• A diffúzióban a részecskék véletlenszerű mozgással terjednek el a magasabb koncentrációjú régiókból az alacsonyabb koncentrációjú régiókba. Az ionbeültetés magában foglalja az aljzat ionokkal történő bombázását, gyorsulást jelent a nagyobb sebességekhez.
•
Előnyök:A diffúzió nem okoz károkat és gyártási tétel is lehetséges. Az ionbeültetés alacsony hőmérsékletű folyamat. Lehetővé teszi a pontos adag és mélység szabályozását. Ionbeültetés is lehetséges az oxidok és nitridek vékony rétegei között. Rövid folyamatidőket is tartalmaz.
•
Hátrányok:
A diffúzió szilárd oldhatóságra korlátozódik, és magas hőmérsékletű folyamat. A szűk keresztmetszetek és az alacsony dózisok a diffúzió folyamatát nehezítik. Az ion-beültetés annealing eljárással jár. • A diffúzió izotropikus dópolóprofil, míg az ionbeültetés anizotropikus dópolóprofil. Összefoglaló:
Ion implantáció vs diffúzió A diffúzió és az ion implantáció két módszer a szennyeződések bevezetésére a félvezetőkhöz (Silicon-Si) a hordozók többségi típusának és a rétegek ellenállóképességének szabályozására. A diffúzióban a dópoló atomok a koncentráció gradiensével a szilíciumról a felületről mozognak. Ez szubsztitúciós vagy interstitiális diffúziós mechanizmusokon keresztül történik. Az ionbeültetés során a dópoló atomokat erőteljesen a szilíciumba adják be egy energikus ionhegeszt beinjektálásával. A diffúzió magas hőmérsékletű folyamat, míg az ionbeültetés alacsony hőmérsékletű folyamat. A doping koncentráció és a csomópont mélysége ion implantációban szabályozható, de a diffúziós folyamatban nem szabályozható. A diffúzió izotropikus dópolóprofil, míg az ionbeültetés anizotropikus dópolóprofil. Képek jóvoltából:
Az anyag egyszerű diffúziója (kék) a féligáteresztő membránon (rózsaszín) a koncentrációs gradiens miatt Elizabeth2424 (CC BY-SA 3. 0)
